探测与控制学报
探測與控製學報
탐측여공제학보
JOURNAL OF DETECTION & CONTROL
2010年
2期
83-87
,共5页
MEMS%Coventor%Ware%温度%冲击
MEMS%Coventor%Ware%溫度%遲擊
MEMS%Coventor%Ware%온도%충격
针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值,引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析.利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时,封装结构变形对其性能的影响.分析结果表明,温度和冲击作用于压阻式传感器封装结构对传感器的性能影响很小,均在万分之一数量级,与前人的试验结果吻合.
針對所見文獻未給齣封裝結構變形對壓阻式加速度計影響值,引入有限元分析軟件Coventor Ware的Package模塊進行定量分析.利用有限元分析軟件Coventor Ware分析壓阻式加速度計在不同溫度下和受到不同方嚮遲擊時,封裝結構變形對其性能的影響.分析結果錶明,溫度和遲擊作用于壓阻式傳感器封裝結構對傳感器的性能影響很小,均在萬分之一數量級,與前人的試驗結果吻閤.
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