CAJ | 학술논문

万方数据

低温与超导 저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2012年 7期 35-38 ,共4页

卢亚鹏%曹春海%李梦月%许钦印%肖伟%房玉荣%许伟伟%康琳%陈健%吴培亨

로아붕%조춘해%리몽월%허흠인%초위%방옥영%허위위%강림%진건%오배형

超导隧道结%等离子氧化%阳极氧化%制备工艺超導隧道結%等離子氧化%暘極氧化%製備工藝
초도수도결%등리자양화%양겁양화%제비공예

提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流.对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰；应用此方法成功制备出较好性能的Nb隧道结.
제출일충양적등리자양화적방법개선결구변연절연성능,강저초도수도결적루전류.대Al막진행등리자양화능구유효적개선양화막적절연성능,AES분석표명:양화절연층균균,계면청석；응용차방법성공제비출교호성능적Nb수도결.