激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2012年
6期
763-766
,共4页
王效顺%梁勖%游利兵%赵家敏%方晓东
王效順%樑勗%遊利兵%趙傢敏%方曉東
왕효순%량욱%유리병%조가민%방효동
激光器%能量稳定%比例积分算法%高重复频率%ArF准分子激光器
激光器%能量穩定%比例積分算法%高重複頻率%ArF準分子激光器
격광기%능량은정%비례적분산법%고중복빈솔%ArF준분자격광기
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究.介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真.结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的.
為瞭實現工業用高重複頻率ArF準分子激光器脈遲能量穩定,從電源控製的角度進行瞭脈遲能量控製技術的基礎研究.介紹瞭高重複頻率ArF準分子激光器能量穩定閉環控製原理,使用近似方法建立瞭準分子激光器脈遲能量和放電電壓的函數模型,提齣一種基于實時檢測脈遲能量的電壓調節比例積分算法,併結閤函數模型和控製算法進行瞭MATLAB倣真.結果錶明,建立的脈遲能量模型是閤理的,且提齣的比例積分算法在提高激光器脈遲輸齣能量穩定性方麵是有效的.
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