一种高精度微硅加速度计的模态分析与模拟验证
일충고정도미규가속도계적모태분석여모의험증
Modal Analysis and Simulation-Validation of a High-Resolution Micromechanical Silicon Accelerometer
  • 万方数据
    微电子学与计算机 미전자학여계산궤
    MICROELECTRONICS & COMPUTER
    2003年 4期 70-72 ,共3页

    魏海龙%单光宝%刘建朝

    위해룡%단광보%류건조

    "轿式"结构%微硅加速度计%模态分析%有限元分析 "轎式"結構%微硅加速度計%模態分析%有限元分析
    "교식"결구%미규가속도계%모태분석%유한원분석
    文章介绍了一种"轿式"结构高精度微硅加速度计的总体结构.从振动机理出发,重点分析该加速度计的振动模态与结构参数的关系,得出了两者之间的函数关系,利用Ansys结构分析软件对其进行了模拟验证.
    문장개소료일충"교식"결구고정도미규가속도계적총체결구.종진동궤리출발,중점분석해가속도계적진동모태여결구삼수적관계,득출료량자지간적함수관계,이용Ansys결구분석연건대기진행료모의험증.
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