微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2004年
1期
9-17
,共9页
微机电系统(MEMS)%碳纳米管(Carbon Nanotubes)%纳机电系统(NEMS)
微機電繫統(MEMS)%碳納米管(Carbon Nanotubes)%納機電繫統(NEMS)
미궤전계통(MEMS)%탄납미관(Carbon Nanotubes)%납궤전계통(NEMS)
碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS)的结合提供了可能,这种结合"Top-down"与"Bottom-up"的方法是微米/纳米技术的一个发展趋势.介绍了碳纳米管的特性及其在MEMS上的潜在应用,综述了碳纳米管的制备方法以及与MEMS技术的兼容性,列举了目前一些碳纳米管与MEMS结合研究的典型,并对其发展趋势进行了分析.
碳納米管研究的不斷髮展為其與微機電繫統(MEMS)的結閤提供瞭可能,這種結閤"Top-down"與"Bottom-up"的方法是微米/納米技術的一箇髮展趨勢.介紹瞭碳納米管的特性及其在MEMS上的潛在應用,綜述瞭碳納米管的製備方法以及與MEMS技術的兼容性,列舉瞭目前一些碳納米管與MEMS結閤研究的典型,併對其髮展趨勢進行瞭分析.
탄납미관연구적불단발전위기여미궤전계통(MEMS)적결합제공료가능,저충결합"Top-down"여"Bottom-up"적방법시미미/납미기술적일개발전추세.개소료탄납미관적특성급기재MEMS상적잠재응용,종술료탄납미관적제비방법이급여MEMS기술적겸용성,열거료목전일사탄납미관여MEMS결합연구적전형,병대기발전추세진행료분석.
