物理学报
物理學報
물이학보
2006年
10期
5311-5317
,共7页
感应耦合等离子体%功率耦合效率%变压器模型
感應耦閤等離子體%功率耦閤效率%變壓器模型
감응우합등리자체%공솔우합효솔%변압기모형
基于感应耦合等离子体的变压器模型,分析了感应耦合等离子体的功率耦合效率与线圈配置(几何尺寸、电学参量)及等离子体基本参量(等离子体电子密度、电子-中性粒子有效碰撞频率)之间的关系;然后,改变平板型线圈的匝数从而改变了线圈的几何尺寸、电学参量,并且测量出了不同的线圈所对应的功率耦合效率. 实验结果表明,线圈的电感量是能否实现放电的决定性因素;而功率耦合效率则与感应线圈的Q值、放电参量(气压、功率)等密切相关,射频输入功率的增加、放电气压的上升都会导致感应耦合等离子体耦合效率的提高,这与感应耦合等离子体的变压器模型预测结果是符合的. 然而,变压器模型给出的提高线圈Q值可导致耦合效率增强的预测结果仅适用于同等电感量的线圈条件. 本文对于单线圈的感应耦合等离子体源的研究为线圈的优化设计甚至大面积的多线圈感应耦合等离子体源研制提供了理论依据.
基于感應耦閤等離子體的變壓器模型,分析瞭感應耦閤等離子體的功率耦閤效率與線圈配置(幾何呎吋、電學參量)及等離子體基本參量(等離子體電子密度、電子-中性粒子有效踫撞頻率)之間的關繫;然後,改變平闆型線圈的匝數從而改變瞭線圈的幾何呎吋、電學參量,併且測量齣瞭不同的線圈所對應的功率耦閤效率. 實驗結果錶明,線圈的電感量是能否實現放電的決定性因素;而功率耦閤效率則與感應線圈的Q值、放電參量(氣壓、功率)等密切相關,射頻輸入功率的增加、放電氣壓的上升都會導緻感應耦閤等離子體耦閤效率的提高,這與感應耦閤等離子體的變壓器模型預測結果是符閤的. 然而,變壓器模型給齣的提高線圈Q值可導緻耦閤效率增彊的預測結果僅適用于同等電感量的線圈條件. 本文對于單線圈的感應耦閤等離子體源的研究為線圈的優化設計甚至大麵積的多線圈感應耦閤等離子體源研製提供瞭理論依據.
기우감응우합등리자체적변압기모형,분석료감응우합등리자체적공솔우합효솔여선권배치(궤하척촌、전학삼량)급등리자체기본삼량(등리자체전자밀도、전자-중성입자유효팽당빈솔)지간적관계;연후,개변평판형선권적잡수종이개변료선권적궤하척촌、전학삼량,병차측량출료불동적선권소대응적공솔우합효솔. 실험결과표명,선권적전감량시능부실현방전적결정성인소;이공솔우합효솔칙여감응선권적Q치、방전삼량(기압、공솔)등밀절상관,사빈수입공솔적증가、방전기압적상승도회도치감응우합등리자체우합효솔적제고,저여감응우합등리자체적변압기모형예측결과시부합적. 연이,변압기모형급출적제고선권Q치가도치우합효솔증강적예측결과부괄용우동등전감량적선권조건. 본문대우단선권적감응우합등리자체원적연구위선권적우화설계심지대면적적다선권감응우합등리자체원연제제공료이론의거.
