光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2008年
z1期
227-228,230
,共3页
激光技术%激光电化学%刻蚀%金属
激光技術%激光電化學%刻蝕%金屬
격광기술%격광전화학%각식%금속
为了探寻准分子激光电化学刻蚀工艺的特性,采用功率密度大的248nm准分子激光聚焦照射浸在溶液中的金属表面,实现了一种激光电化学刻蚀复合工艺.在实验的基础上,通过对激光电化学刻蚀金属和硅的基本形貌进行比较和分析,研究了该工艺的工艺特性.研究结果表明,该复合工艺为激光直接刻蚀和激光热诱导电化学刻蚀.其中激光热诱导电化学刻蚀是通过激光的光热效应和由激光诱导的冲击波来实现对腐蚀液和材料的冲击、微搅拌等作用的.
為瞭探尋準分子激光電化學刻蝕工藝的特性,採用功率密度大的248nm準分子激光聚焦照射浸在溶液中的金屬錶麵,實現瞭一種激光電化學刻蝕複閤工藝.在實驗的基礎上,通過對激光電化學刻蝕金屬和硅的基本形貌進行比較和分析,研究瞭該工藝的工藝特性.研究結果錶明,該複閤工藝為激光直接刻蝕和激光熱誘導電化學刻蝕.其中激光熱誘導電化學刻蝕是通過激光的光熱效應和由激光誘導的遲擊波來實現對腐蝕液和材料的遲擊、微攪拌等作用的.
위료탐심준분자격광전화학각식공예적특성,채용공솔밀도대적248nm준분자격광취초조사침재용액중적금속표면,실현료일충격광전화학각식복합공예.재실험적기출상,통과대격광전화학각식금속화규적기본형모진행비교화분석,연구료해공예적공예특성.연구결과표명,해복합공예위격광직접각식화격광열유도전화학각식.기중격광열유도전화학각식시통과격광적광열효응화유격광유도적충격파래실현대부식액화재료적충격、미교반등작용적.
