华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2009年
2期
48-52
,共5页
张洪宾%陈俊芳%符斯列%郭超峰%李炜%黄孟祥
張洪賓%陳俊芳%符斯列%郭超峰%李煒%黃孟祥
장홍빈%진준방%부사렬%곽초봉%리위%황맹상
ECR等离子体%发射光谱%空间分布%朗缪尔双探针
ECR等離子體%髮射光譜%空間分佈%朗繆爾雙探針
ECR등리자체%발사광보%공간분포%랑무이쌍탐침
为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性,首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并分析了放电气压对等离子体空间分布的影响.结果表明: ECR氮等离子体中主要发生的是碰撞激发、碰撞电离和碰撞离解等微观过程,且等离子体的主要成分是激发态的N+2;受磁场梯度影响的反应室上游区,等离子体分布不均匀,受等离子体密度梯度影响的下游区,等离子体则具有良好的均匀性;对于特定的微波功率(PW=400 W),放电气压存在一个最佳值(P=0.07 Pa).
為瞭深刻理解微波電子迴鏇共振(ECR)等離子體的物理機製、瞬態過程以及空間分佈特性,首先利用光柵光譜儀對ECR氮等離子體髮射光譜進行瞭研究,然後利用朗繆爾雙探針測量瞭裝置反應室內等離子體密度的空間分佈,併分析瞭放電氣壓對等離子體空間分佈的影響.結果錶明: ECR氮等離子體中主要髮生的是踫撞激髮、踫撞電離和踫撞離解等微觀過程,且等離子體的主要成分是激髮態的N+2;受磁場梯度影響的反應室上遊區,等離子體分佈不均勻,受等離子體密度梯度影響的下遊區,等離子體則具有良好的均勻性;對于特定的微波功率(PW=400 W),放電氣壓存在一箇最佳值(P=0.07 Pa).
위료심각리해미파전자회선공진(ECR)등리자체적물리궤제、순태과정이급공간분포특성,수선이용광책광보의대ECR담등리자체발사광보진행료연구,연후이용랑무이쌍탐침측량료장치반응실내등리자체밀도적공간분포,병분석료방전기압대등리자체공간분포적영향.결과표명: ECR담등리자체중주요발생적시팽당격발、팽당전리화팽당리해등미관과정,차등리자체적주요성분시격발태적N+2;수자장제도영향적반응실상유구,등리자체분포불균균,수등리자체밀도제도영향적하유구,등리자체칙구유량호적균균성;대우특정적미파공솔(PW=400 W),방전기압존재일개최가치(P=0.07 Pa).
