真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
z1期
39-41
,共3页
叶自煜%王多书%张佰森%陈焘%马锋%盖志刚
葉自煜%王多書%張佰森%陳燾%馬鋒%蓋誌剛
협자욱%왕다서%장백삼%진도%마봉%개지강
滤光片%长波红外%光学系统%设计%镀制
濾光片%長波紅外%光學繫統%設計%鍍製
려광편%장파홍외%광학계통%설계%도제
针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm～12.50μm和10.6μm～11.2μm两类宽截止长波红外带通滤光片为研究对象,论述了宽截止长波红外带通滤光片的设计原则和方法,采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺成功镀制了空间用宽截止长波红外带通滤光片.指出等离子体辅助沉积工艺更有利于改善长波红外滤光片膜层的显微结构和残余应力消除.
針對空間用寬截止長波紅外帶通濾光片具有通帶內平均透射率高、抑製帶截止深度深、波紋繫數小,可適應複雜環境條件,具有高穩定性和高可靠性等特點,以10.03μm～12.50μm和10.6μm～11.2μm兩類寬截止長波紅外帶通濾光片為研究對象,論述瞭寬截止長波紅外帶通濾光片的設計原則和方法,採用"會聚光紅外光學繫統"和等離子體輔助沉積工藝成功鍍製瞭空間用寬截止長波紅外帶通濾光片.指齣等離子體輔助沉積工藝更有利于改善長波紅外濾光片膜層的顯微結構和殘餘應力消除.
침대공간용관절지장파홍외대통려광편구유통대내평균투사솔고、억제대절지심도심、파문계수소,가괄응복잡배경조건,구유고은정성화고가고성등특점,이10.03μm～12.50μm화10.6μm～11.2μm량류관절지장파홍외대통려광편위연구대상,논술료관절지장파홍외대통려광편적설계원칙화방법,채용"회취광홍외광학계통"화등리자체보조침적공예성공도제료공간용관절지장파홍외대통려광편.지출등리자체보조침적공예경유리우개선장파홍외려광편막층적현미결구화잔여응력소제.
