光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2009年
8期
1962-1966
,共5页
扫描探针技术%扫描近场光学显微镜%光纤探针%化学腐蚀法
掃描探針技術%掃描近場光學顯微鏡%光纖探針%化學腐蝕法
소묘탐침기술%소묘근장광학현미경%광섬탐침%화학부식법
提出了一种制备扫描近场光学显微镜光纤探针的自动化腐蚀方案.该方案利用静态腐蚀过程中光纤所形成的特殊结构,及动态腐蚀过程中光纤在氢氟酸中的移动所带来的新月形弯液面在光纤表面接触位置的变化,通过合理控制腐蚀时间来制备尖端锐利、大锥角或多锥体角等各种结构的探针.设计方案采用计算机控制整个装置实现了探针制备过程的自动化,保持了腐蚀光纤探针实验条件的一致性.实验结果表明,采用此方案可以制备出尖端孔径小于100 nm且锥体角高达70°的光纤探针,且重复性高.此外,该方案的装置结构简单,实现容易.
提齣瞭一種製備掃描近場光學顯微鏡光纖探針的自動化腐蝕方案.該方案利用靜態腐蝕過程中光纖所形成的特殊結構,及動態腐蝕過程中光纖在氫氟痠中的移動所帶來的新月形彎液麵在光纖錶麵接觸位置的變化,通過閤理控製腐蝕時間來製備尖耑銳利、大錐角或多錐體角等各種結構的探針.設計方案採用計算機控製整箇裝置實現瞭探針製備過程的自動化,保持瞭腐蝕光纖探針實驗條件的一緻性.實驗結果錶明,採用此方案可以製備齣尖耑孔徑小于100 nm且錐體角高達70°的光纖探針,且重複性高.此外,該方案的裝置結構簡單,實現容易.
제출료일충제비소묘근장광학현미경광섬탐침적자동화부식방안.해방안이용정태부식과정중광섬소형성적특수결구,급동태부식과정중광섬재경불산중적이동소대래적신월형만액면재광섬표면접촉위치적변화,통과합리공제부식시간래제비첨단예리、대추각혹다추체각등각충결구적탐침.설계방안채용계산궤공제정개장치실현료탐침제비과정적자동화,보지료부식광섬탐침실험조건적일치성.실험결과표명,채용차방안가이제비출첨단공경소우100 nm차추체각고체70°적광섬탐침,차중복성고.차외,해방안적장치결구간단,실현용역.
