航空材料学报
航空材料學報
항공재료학보
JOURNAL OF AERONAUTICAL MATERIALS
2010年
2期
45-50
,共6页
罗庆洪%杨会生%陆永浩%娄艳芝%于栋利%王燕斌
囉慶洪%楊會生%陸永浩%婁豔芝%于棟利%王燕斌
라경홍%양회생%륙영호%루염지%우동리%왕연빈
中频反应磁控溅射%AlTiN多层薄膜%显微结构%结合能
中頻反應磁控濺射%AlTiN多層薄膜%顯微結構%結閤能
중빈반응자공천사%AlTiN다층박막%현미결구%결합능
使用TiAl合金靶,利用中频反应磁控溅射系统,通过交替改变氮气流量的方法,在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了氮含量周期性改变的AlTiN多层薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)和高分辨透射电镜(HRTEM)等方法研究了AlTiN多层薄膜微观组织和结构;AlTiN多层薄膜的力学以及膜基结合性能用纳米压痕硬度仪和划痕试验得到.结果表明,制备的AlTiN薄膜,尽管交替的两层中氮含量不同,但每一单层都为非晶包裹纳米晶的纳米复合结构,所不同的是,低氮含量层中纳米晶密度较小.多层结构的形成能够很大的提高AlTiN多层薄膜的临界载荷和结合能,同时硬度和弹性模量值均有微小的提高,氮气流量的增加有利于多层膜性能的改善.
使用TiAl閤金靶,利用中頻反應磁控濺射繫統,通過交替改變氮氣流量的方法,在高速鋼(W18Cr4V)基體上沉積瞭氮含量週期性改變的AlTiN多層薄膜.利用X射線衍射儀(XRD)、場髮射掃描電鏡(FE-SEM)和高分辨透射電鏡(HRTEM)等方法研究瞭AlTiN多層薄膜微觀組織和結構;AlTiN多層薄膜的力學以及膜基結閤性能用納米壓痕硬度儀和劃痕試驗得到.結果錶明,製備的AlTiN薄膜,儘管交替的兩層中氮含量不同,但每一單層都為非晶包裹納米晶的納米複閤結構,所不同的是,低氮含量層中納米晶密度較小.多層結構的形成能夠很大的提高AlTiN多層薄膜的臨界載荷和結閤能,同時硬度和彈性模量值均有微小的提高,氮氣流量的增加有利于多層膜性能的改善.
사용TiAl합금파,이용중빈반응자공천사계통,통과교체개변담기류량적방법,재고속강(W18Cr4V)기체상침적료담함량주기성개변적AlTiN다층박막.이용X사선연사의(XRD)、장발사소묘전경(FE-SEM)화고분변투사전경(HRTEM)등방법연구료AlTiN다층박막미관조직화결구;AlTiN다층박막적역학이급막기결합성능용납미압흔경도의화화흔시험득도.결과표명,제비적AlTiN박막,진관교체적량층중담함량불동,단매일단층도위비정포과납미정적납미복합결구,소불동적시,저담함량층중납미정밀도교소.다층결구적형성능구흔대적제고AlTiN다층박막적림계재하화결합능,동시경도화탄성모량치균유미소적제고,담기류량적증가유리우다층막성능적개선.
