中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2002年
8期
707-710
,共4页
吴健%林德教%殷纯永%郭继华
吳健%林德教%慇純永%郭繼華
오건%림덕교%은순영%곽계화
纳米定位%表面等离子体共振%特殊四面体棱镜
納米定位%錶麵等離子體共振%特殊四麵體稜鏡
납미정위%표면등리자체공진%특수사면체릉경
基于表面等离子体共振(SPR)的纳米定位装置可以实现纳米级的定位分辨率和重复性.通过设计特殊四面体棱镜,使四面体棱镜第一个反射面的入射角等于SPR的共振角,在该反射面上镀上金属膜,后面放置光纤探头构成SPR定位指零装置,实现了纳米定位装置和干涉仪系统的集成.干涉仪测量前利用SPR纳米定位系统确定一个零位,当发生漂移时回到定位零点进行读数校正,就可以减少干涉仪的漂移误差.建立了集成纳米定位装置的干涉仪系统.实验表明,干涉仪的测量不确定度从70 nm减小到10 nm,提高了系统的测量精度和稳定性.
基于錶麵等離子體共振(SPR)的納米定位裝置可以實現納米級的定位分辨率和重複性.通過設計特殊四麵體稜鏡,使四麵體稜鏡第一箇反射麵的入射角等于SPR的共振角,在該反射麵上鍍上金屬膜,後麵放置光纖探頭構成SPR定位指零裝置,實現瞭納米定位裝置和榦涉儀繫統的集成.榦涉儀測量前利用SPR納米定位繫統確定一箇零位,噹髮生漂移時迴到定位零點進行讀數校正,就可以減少榦涉儀的漂移誤差.建立瞭集成納米定位裝置的榦涉儀繫統.實驗錶明,榦涉儀的測量不確定度從70 nm減小到10 nm,提高瞭繫統的測量精度和穩定性.
기우표면등리자체공진(SPR)적납미정위장치가이실현납미급적정위분변솔화중복성.통과설계특수사면체릉경,사사면체릉경제일개반사면적입사각등우SPR적공진각,재해반사면상도상금속막,후면방치광섬탐두구성SPR정위지령장치,실현료납미정위장치화간섭의계통적집성.간섭의측량전이용SPR납미정위계통학정일개령위,당발생표이시회도정위영점진행독수교정,취가이감소간섭의적표이오차.건립료집성납미정위장치적간섭의계통.실험표명,간섭의적측량불학정도종70 nm감소도10 nm,제고료계통적측량정도화은정성.
