大直径单晶生长中稳定真空度和优化气流控制的改进措施
대직경단정생장중은정진공도화우화기류공제적개진조시
The innovative methods for the vacuum stabilized and the gas flow optimized in major diameter crystal growing
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2004年 2期 1-3 ,共3页

    蒋科坚%许真知

    장과견%허진지

    直拉法%大直径单晶%真空稳定性%气流控制 直拉法%大直徑單晶%真空穩定性%氣流控製
    직랍법%대직경단정%진공은정성%기류공제
    随着国内大直径直拉单晶技术的发展,一些原先在小直径单晶中并未引起重视的问题,对大直径单晶生长的负面影响日渐显现.大直径单晶对其生长环境有很高的稳定性要求.本文就其中真空度的稳定和气流控制的优化两个方面,提出了改进方案,以提高大直径单晶生长的成晶率和内在品质.
    수착국내대직경직랍단정기술적발전,일사원선재소직경단정중병미인기중시적문제,대대직경단정생장적부면영향일점현현.대직경단정대기생장배경유흔고적은정성요구.본문취기중진공도적은정화기류공제적우화량개방면,제출료개진방안,이제고대직경단정생장적성정솔화내재품질.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문