Taurus workbenchyong用于IC制造加工工艺的实验研究
Taurus workbenchyong용우IC제조가공공예적실험연구
The experimental research of optimize manufacturing and procesing technique for IC on the taurus workbench
  • 万方数据
    河北理工学院学报 하북리공학원학보
    JOURNAL OF INSTITUTE OF TECHNOLOGY
    2004年 3期 53-56,70 ,共5页

    侯国宪%李惠军%赵国庆

    후국헌%리혜군%조국경

    集成电路虚拟工厂%阈值电压%仿真%优化 集成電路虛擬工廠%閾值電壓%倣真%優化
    집성전로허의공엄%역치전압%방진%우화
    介绍了集成电路虚拟工厂系统Taurus Workbench.并基于CMOS工艺的特点,在Tau-rus Workbench环境下进行了亚微米级n沟器件的核心参数优化实验研究,结果印证了集成电路虚拟工厂技术为工艺优化提供了便捷有效的方法.
    개소료집성전로허의공엄계통Taurus Workbench.병기우CMOS공예적특점,재Tau-rus Workbench배경하진행료아미미급n구기건적핵심삼수우화실험연구,결과인증료집성전로허의공엄기술위공예우화제공료편첩유효적방법.
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