黑龙江科技学院学报
黑龍江科技學院學報
흑룡강과기학원학보
JOURNAL OF HEILONGJIANG INSTITUTE OF SCIENCE & TECHNOLOGY
2008年
4期
281-284
,共4页
纳米三坐标测量机%直线度误差%误差分离实验
納米三坐標測量機%直線度誤差%誤差分離實驗
납미삼좌표측량궤%직선도오차%오차분리실험
基于误差分离技术,以德国SIOS公司的微型纳米级精度的三光束激光干涉仪SP2000为高精度的标准量,对正在研制的新型纳米三坐标测量机进行导轨直线度误差分离方案的研究.设计出具体的误差分离实验装置,并给出详细的实验操作过程.通过三次样条插值拟合,对实验测得的误差值进行修正.实验结果证明了所采用的误差分离方法明显提高了纳米三坐标测量机的精度.
基于誤差分離技術,以德國SIOS公司的微型納米級精度的三光束激光榦涉儀SP2000為高精度的標準量,對正在研製的新型納米三坐標測量機進行導軌直線度誤差分離方案的研究.設計齣具體的誤差分離實驗裝置,併給齣詳細的實驗操作過程.通過三次樣條插值擬閤,對實驗測得的誤差值進行脩正.實驗結果證明瞭所採用的誤差分離方法明顯提高瞭納米三坐標測量機的精度.
기우오차분리기술,이덕국SIOS공사적미형납미급정도적삼광속격광간섭의SP2000위고정도적표준량,대정재연제적신형납미삼좌표측량궤진행도궤직선도오차분리방안적연구.설계출구체적오차분리실험장치,병급출상세적실험조작과정.통과삼차양조삽치의합,대실험측득적오차치진행수정.실험결과증명료소채용적오차분리방법명현제고료납미삼좌표측량궤적정도.
