探测与控制学报
探測與控製學報
탐측여공제학보
JOURNAL OF DETECTION & CONTROL
2008年
5期
48-51,56
,共5页
吴志亮%黄新龙%朱继南%张合
吳誌亮%黃新龍%硃繼南%張閤
오지량%황신룡%주계남%장합
MEMS%引信%LIGA%工艺
MEMS%引信%LIGA%工藝
MEMS%인신%LIGA%공예
探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺制作的要求和思考.
探討瞭包括標準LIGA技術,UV-LIGA技術在內的MEMS引信部件的製作方法,給齣瞭使用現有LIGA技術加工MEMS引信部件的流程、存在的問題以及解決方案,對MEMS引信設計提齣瞭基于工藝製作的要求和思攷.
탐토료포괄표준LIGA기술,UV-LIGA기술재내적MEMS인신부건적제작방법,급출료사용현유LIGA기술가공MEMS인신부건적류정、존재적문제이급해결방안,대MEMS인신설계제출료기우공예제작적요구화사고.
