功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2009年
3期
259-263
,共5页
朱军%蒋宏民%陈翔%陈迪%刘景全
硃軍%蔣宏民%陳翔%陳迪%劉景全
주군%장굉민%진상%진적%류경전
最小曝光剂量%PAG%集成制造
最小曝光劑量%PAG%集成製造
최소폭광제량%PAG%집성제조
通过改变SU-8光刻胶中PAG浓度获得含不同PAG浓度的各种改性SU-8光刻胶,在对其光学性能以及最小曝光剂量的测定基础上研究改性SU-8光刻胶的光刻工艺,借助于改性SU-8光刻胶的合理设计以及背面曝光和正面曝光的结合应用提高多元材料复杂结构的集成制造能力.
通過改變SU-8光刻膠中PAG濃度穫得含不同PAG濃度的各種改性SU-8光刻膠,在對其光學性能以及最小曝光劑量的測定基礎上研究改性SU-8光刻膠的光刻工藝,藉助于改性SU-8光刻膠的閤理設計以及揹麵曝光和正麵曝光的結閤應用提高多元材料複雜結構的集成製造能力.
통과개변SU-8광각효중PAG농도획득함불동PAG농도적각충개성SU-8광각효,재대기광학성능이급최소폭광제량적측정기출상연구개성SU-8광각효적광각공예,차조우개성SU-8광각효적합리설계이급배면폭광화정면폭광적결합응용제고다원재료복잡결구적집성제조능력.
