CAJ | 학술논문

采用非平衡磁控溅射技术,通过改变氮气和氩气分压比P(N2)/P(Ar),在钛合金(Ti6Al4V)表面制备出不同结构及性能的氮化硅薄膜.结果显示,制备的氮化硅薄膜为非晶态结构,随着氮气分压的增加,Si-N键的含量增加,其对应的红外吸收峰逐渐变宽,并向高波数偏移.氮化硅薄膜的显微硬度、耐磨性随着P(N2)/P(Ar)的增加而先增加,当P(N2)/P(Ar)为0.25时,随着P(N2)/P(Ar)的增加,薄膜硬度及耐磨性稍有降低.氮化硅薄膜具有较好的膜/基结合力,当增大氮气和氩气分压比,薄膜的脆性随之增加.
채용비평형자공천사기술,통과개변담기화아기분압비P(N2)/P(Ar),재태합금(Ti6Al4V)표면제비출불동결구급성능적담화규박막.결과현시,제비적담화규박막위비정태결구,수착담기분압적증가,Si-N건적함량증가,기대응적홍외흡수봉축점변관,병향고파수편이.담화규박막적현미경도、내마성수착P(N2)/P(Ar)적증가이선증가,당P(N2)/P(Ar)위0.25시,수착P(N2)/P(Ar)적증가,박막경도급내마성초유강저.담화규박막구유교호적막/기결합력,당증대담기화아기분압비,박막적취성수지증가.