ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究
ALD중사빈조항필배기적설계여연구
Design and research of RF impedance matching device in ALD
  • 万方数据
    现代电子技术 현대전자기술
    MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
    2012年 3期 202-203,206 ,共3页

    孙小孟%李勇滔%夏洋%李超波%李英杰%陈盛云%赵章琰%秦威

    손소맹%리용도%하양%리초파%리영걸%진성운%조장염%진위

    射频阻抗匹配器%阻抗匹配网络%ALD%ADS 射頻阻抗匹配器%阻抗匹配網絡%ALD%ADS
    사빈조항필배기%조항필배망락%ALD%ADS
    阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案.利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法.经实验验证,该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配.
    천술원자층침적계통(ALD)중사빈조항필배기적설계방안.이용ADS연건대조항필배망락진행방진,통과분석ALD진공강실내등리자체산생전후적부재조항변화,결합방진결과,제출등리자체산생과정중조항필배망락적공제방법.경실험험증,해조항필배기화공제방법가실현조항필배.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문