微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
2期
96-101,123
,共7页
韩锐锐%张兆华%任天令%林惠旺%刘理天
韓銳銳%張兆華%任天令%林惠旺%劉理天
한예예%장조화%임천령%림혜왕%류리천
灵敏度%线性度%压阻式压力传感器%有限元分析(FEA)%路径积分
靈敏度%線性度%壓阻式壓力傳感器%有限元分析(FEA)%路徑積分
령민도%선성도%압조식압력전감기%유한원분석(FEA)%로경적분
灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标.为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法.提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法,从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真.实验结果验证了该方法的精确性:传感器样品的灵敏度测试值为42.462～44.460 mV/MPa,与仿真值之间的相对误差控制在3.3％以下,同时得到非线性低于0.16％的良好线性度以满足应用需求.
靈敏度和線性度是壓力傳感器最重要的兩箇性能指標.為瞭製作齣能夠滿足實際應用需求的壓力傳感器,必需探索齣一種壓力傳感器靈敏度和線性度的有效倣真方法.提供瞭一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜錶麵應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的倣真方法,從而實現瞭在滿量程範圍內不同壓力值下對傳感器電壓輸齣值的精確估計,在此基礎上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行瞭有效倣真.實驗結果驗證瞭該方法的精確性:傳感器樣品的靈敏度測試值為42.462～44.460 mV/MPa,與倣真值之間的相對誤差控製在3.3％以下,同時得到非線性低于0.16％的良好線性度以滿足應用需求.
령민도화선성도시압력전감기최중요적량개성능지표.위료제작출능구만족실제응용수구적압력전감기,필수탐색출일충압력전감기령민도화선성도적유효방진방법.제공료일충기우대압조식압력전감기박막표면응력적유한원분석(FEA)화로경적분적방진방법,종이실현료재만량정범위내불동압력치하대전감기전압수출치적정학고계,재차기출상대압력전감기적령민도화선성도진행료유효방진.실험결과험증료해방법적정학성:전감기양품적령민도측시치위42.462～44.460 mV/MPa,여방진치지간적상대오차공제재3.3％이하,동시득도비선성저우0.16％적량호선성도이만족응용수구.
