物理学报
物理學報
물이학보
2004年
11期
3895-3901
,共7页
王天兴%魏红祥%李飞飞%张爱国%曾中明%詹文山%韩秀峰
王天興%魏紅祥%李飛飛%張愛國%曾中明%詹文山%韓秀峰
왕천흥%위홍상%리비비%장애국%증중명%첨문산%한수봉
磁性隧道结%隧穿磁电阻%磁随机存储器%4英寸热氧化硅衬底
磁性隧道結%隧穿磁電阻%磁隨機存儲器%4英吋熱氧化硅襯底
자성수도결%수천자전조%자수궤존저기%4영촌열양화규츤저
就如何在4英寸热氧化硅衬底上沉积高质量的磁性隧道结纳米多层薄膜材料和如何利用光刻方法微加工制备均匀性较好的磁性隧道结方面做了初步研究,并对磁性隧道结的磁电性质及其工作特性进行了初步测量和讨论.利用现有的光刻设备和工艺条件在4英寸热氧化硅衬底上直接制备出的磁性隧道结,其结电阻与面积的积矢的绝对误差在10%以内,隧穿磁电阻的绝对误差在7%以内,样品的磁性隧道结性质具有较好的均匀性和一致性,可以满足研制磁随机存储器存储单元演示器件的基本要求.
就如何在4英吋熱氧化硅襯底上沉積高質量的磁性隧道結納米多層薄膜材料和如何利用光刻方法微加工製備均勻性較好的磁性隧道結方麵做瞭初步研究,併對磁性隧道結的磁電性質及其工作特性進行瞭初步測量和討論.利用現有的光刻設備和工藝條件在4英吋熱氧化硅襯底上直接製備齣的磁性隧道結,其結電阻與麵積的積矢的絕對誤差在10%以內,隧穿磁電阻的絕對誤差在7%以內,樣品的磁性隧道結性質具有較好的均勻性和一緻性,可以滿足研製磁隨機存儲器存儲單元縯示器件的基本要求.
취여하재4영촌열양화규츤저상침적고질량적자성수도결납미다층박막재료화여하이용광각방법미가공제비균균성교호적자성수도결방면주료초보연구,병대자성수도결적자전성질급기공작특성진행료초보측량화토론.이용현유적광각설비화공예조건재4영촌열양화규츤저상직접제비출적자성수도결,기결전조여면적적적시적절대오차재10%이내,수천자전조적절대오차재7%이내,양품적자성수도결성질구유교호적균균성화일치성,가이만족연제자수궤존저기존저단원연시기건적기본요구.
