物理学报
物理學報
물이학보
2007年
8期
4834-4840
,共7页
王权%丁建宁%何宇亮%薛伟%范真
王權%丁建寧%何宇亮%薛偉%範真
왕권%정건저%하우량%설위%범진
氢化硅薄膜%拉曼谱%弹性模量%晶态比
氫化硅薄膜%拉曼譜%彈性模量%晶態比
경화규박막%랍만보%탄성모량%정태비
使用等离子体增强化学气相沉积系统,在射频和直流负偏压的双重激励下制备了本征和掺杂后的氢化硅薄膜.利用拉曼谱对薄膜进行了微结构分析,用纳米压痕系统研究了薄膜的介观力学行为.研究表明:制备于玻璃衬底上的氢化硅薄膜,由于存在非晶态的过渡缓冲层,弹性模量小于相应的制备于单晶硅衬底的薄膜.对于掺杂的氢化硅薄膜,由于磷的掺入使得薄膜晶粒细化、有序度提高,薄膜的晶态比一般在40%以上.而硼的掺入,薄膜晶态比减小,一般低于40%.同时发现,掺磷、本征和掺硼的氢化硅薄膜分别在晶态比为45%,30%和15%左右处,弹性模量较小,对此给出了理论解释.
使用等離子體增彊化學氣相沉積繫統,在射頻和直流負偏壓的雙重激勵下製備瞭本徵和摻雜後的氫化硅薄膜.利用拉曼譜對薄膜進行瞭微結構分析,用納米壓痕繫統研究瞭薄膜的介觀力學行為.研究錶明:製備于玻璃襯底上的氫化硅薄膜,由于存在非晶態的過渡緩遲層,彈性模量小于相應的製備于單晶硅襯底的薄膜.對于摻雜的氫化硅薄膜,由于燐的摻入使得薄膜晶粒細化、有序度提高,薄膜的晶態比一般在40%以上.而硼的摻入,薄膜晶態比減小,一般低于40%.同時髮現,摻燐、本徵和摻硼的氫化硅薄膜分彆在晶態比為45%,30%和15%左右處,彈性模量較小,對此給齣瞭理論解釋.
사용등리자체증강화학기상침적계통,재사빈화직류부편압적쌍중격려하제비료본정화참잡후적경화규박막.이용랍만보대박막진행료미결구분석,용납미압흔계통연구료박막적개관역학행위.연구표명:제비우파리츤저상적경화규박막,유우존재비정태적과도완충층,탄성모량소우상응적제비우단정규츤저적박막.대우참잡적경화규박막,유우린적참입사득박막정립세화、유서도제고,박막적정태비일반재40%이상.이붕적참입,박막정태비감소,일반저우40%.동시발현,참린、본정화참붕적경화규박막분별재정태비위45%,30%화15%좌우처,탄성모량교소,대차급출료이론해석.
