吉林师范大学学报（自然科学版）
吉林師範大學學報（自然科學版）
길림사범대학학보（자연과학판）
JILIN NORMAL UNIVERSITY JOURNAL（NATURAL SCIENCE EDITION）
2008年
1期
18-19,33
,共3页
隋瑛锐%柏昕昱%刘波%姚斌
隋瑛銳%柏昕昱%劉波%姚斌
수영예%백흔욱%류파%요빈
射频磁控溅射%ZrN薄膜%X射线衍射
射頻磁控濺射%ZrN薄膜%X射線衍射
사빈자공천사%ZrN박막%X사선연사
本文利用射频磁控溅射在N2和Ar混合气氛环境下,在玻璃衬底上沉积ZrN薄膜.采用X射线衍射(XRD)、X射线散射能谱(EDX)和扫描电子显微镜(SEM)技术对薄膜微观结构、成分及形貌进行分析.结果表明,制备的ZrN薄膜是化学计量比接近于1的面心NaCl结构.从薄膜的表面形貌图可知,薄膜表面平整,缺陷很少,晶粒排列非常致密,且空位及表面缺陷很少.
本文利用射頻磁控濺射在N2和Ar混閤氣氛環境下,在玻璃襯底上沉積ZrN薄膜.採用X射線衍射(XRD)、X射線散射能譜(EDX)和掃描電子顯微鏡(SEM)技術對薄膜微觀結構、成分及形貌進行分析.結果錶明,製備的ZrN薄膜是化學計量比接近于1的麵心NaCl結構.從薄膜的錶麵形貌圖可知,薄膜錶麵平整,缺陷很少,晶粒排列非常緻密,且空位及錶麵缺陷很少.
본문이용사빈자공천사재N2화Ar혼합기분배경하,재파리츤저상침적ZrN박막.채용X사선연사(XRD)、X사선산사능보(EDX)화소묘전자현미경(SEM)기술대박막미관결구、성분급형모진행분석.결과표명,제비적ZrN박막시화학계량비접근우1적면심NaCl결구.종박막적표면형모도가지,박막표면평정,결함흔소,정립배렬비상치밀,차공위급표면결함흔소.
