红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2008年
4期
714-718
,共5页
重复频率%有限元%空气对流系数%光斑
重複頻率%有限元%空氣對流繫數%光斑
중복빈솔%유한원%공기대류계수%광반
实验测量了波长1 064 nm,10 kHz高重复频率激光辐照下镀制Ta2O5/SiO2多层膜的 K9、石英玻璃、白宝石高反膜元件温升变化.有限元分析的结果与实验结果相一致.用ANSYS程序计算了不同基板、空气对流系数及基板尺寸对激光辐照中心点温度的影响.结果表明:白宝石基片的薄膜元件激光辐照点的温度最低,其次是石英,K9玻璃基片的薄膜元件激光辐照点温度最高.空气对流系数在大光斑或长时间辐照时对激光辐照点温度影响较大,在小光斑或短时间辐照时对激光辐照点温度影响甚微,可忽略不计.基板越厚,基板直径越大,激光辐照中心点温度越低,基板直径比厚度更能影响激光辐照中心点温度变化.
實驗測量瞭波長1 064 nm,10 kHz高重複頻率激光輻照下鍍製Ta2O5/SiO2多層膜的 K9、石英玻璃、白寶石高反膜元件溫升變化.有限元分析的結果與實驗結果相一緻.用ANSYS程序計算瞭不同基闆、空氣對流繫數及基闆呎吋對激光輻照中心點溫度的影響.結果錶明:白寶石基片的薄膜元件激光輻照點的溫度最低,其次是石英,K9玻璃基片的薄膜元件激光輻照點溫度最高.空氣對流繫數在大光斑或長時間輻照時對激光輻照點溫度影響較大,在小光斑或短時間輻照時對激光輻照點溫度影響甚微,可忽略不計.基闆越厚,基闆直徑越大,激光輻照中心點溫度越低,基闆直徑比厚度更能影響激光輻照中心點溫度變化.
실험측량료파장1 064 nm,10 kHz고중복빈솔격광복조하도제Ta2O5/SiO2다층막적 K9、석영파리、백보석고반막원건온승변화.유한원분석적결과여실험결과상일치.용ANSYS정서계산료불동기판、공기대류계수급기판척촌대격광복조중심점온도적영향.결과표명:백보석기편적박막원건격광복조점적온도최저,기차시석영,K9파리기편적박막원건격광복조점온도최고.공기대류계수재대광반혹장시간복조시대격광복조점온도영향교대,재소광반혹단시간복조시대격광복조점온도영향심미,가홀략불계.기판월후,기판직경월대,격광복조중심점온도월저,기판직경비후도경능영향격광복조중심점온도변화.
