表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2010年
3期
90-93
,共4页
铜-钨(钼)薄膜%溅射%热控制
銅-鎢(鉬)薄膜%濺射%熱控製
동-오(목)박막%천사%열공제
介绍了近年来铜-钨(钼)薄膜涂层的制备方法.包括溅射沉积法、离子束辅助沉积法、离子束混合法、电子束蒸发法.重点介绍了溅射法中的磁控溅射法和离子束溅射沉积法,分析了薄膜的结构特征及其在固体润滑剂、电子设备、表面修饰材料等领域的应用,并展望了未来的研究方向和应用前景,指出制备散热材料是未来铜一钨(钼)薄膜研究的主流方向.
介紹瞭近年來銅-鎢(鉬)薄膜塗層的製備方法.包括濺射沉積法、離子束輔助沉積法、離子束混閤法、電子束蒸髮法.重點介紹瞭濺射法中的磁控濺射法和離子束濺射沉積法,分析瞭薄膜的結構特徵及其在固體潤滑劑、電子設備、錶麵脩飾材料等領域的應用,併展望瞭未來的研究方嚮和應用前景,指齣製備散熱材料是未來銅一鎢(鉬)薄膜研究的主流方嚮.
개소료근년래동-오(목)박막도층적제비방법.포괄천사침적법、리자속보조침적법、리자속혼합법、전자속증발법.중점개소료천사법중적자공천사법화리자속천사침적법,분석료박막적결구특정급기재고체윤활제、전자설비、표면수식재료등영역적응용,병전망료미래적연구방향화응용전경,지출제비산열재료시미래동일오(목)박막연구적주류방향.
