强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2010年
8期
1909-1913
,共5页
陈兆权%刘明海%但敏%唐亮%程莉莉%胡鹏%胡希伟
陳兆權%劉明海%但敏%唐亮%程莉莉%鬍鵬%鬍希偉
진조권%류명해%단민%당량%정리리%호붕%호희위
等离子体%化学气相沉积%二氧化钛薄膜%晶体结构%表面形貌%光学性能
等離子體%化學氣相沉積%二氧化鈦薄膜%晶體結構%錶麵形貌%光學性能
등리자체%화학기상침적%이양화태박막%정체결구%표면형모%광학성능
以四氯化钛为源物质,氩气为载气,氧气为反应气体,利用低温等离子体增强化学气相沉积在硅基表面制备出了TiO2薄膜.使用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪等检测分析表征TiO2薄膜的性能与性质,并探讨了工艺条件如基片材料、沉积时间和基片温度对薄膜性能的影响.结果表明:制备的薄膜表面光滑均匀,结构致密,最小晶粒尺寸约15 nm;薄膜的晶型主要依赖于沉积温度,低于300 ℃沉积的薄膜是无定形的,300 ℃之上沉积的薄膜是锐钛矿结构.
以四氯化鈦為源物質,氬氣為載氣,氧氣為反應氣體,利用低溫等離子體增彊化學氣相沉積在硅基錶麵製備齣瞭TiO2薄膜.使用場髮射掃描電子顯微鏡、X射線衍射儀等檢測分析錶徵TiO2薄膜的性能與性質,併探討瞭工藝條件如基片材料、沉積時間和基片溫度對薄膜性能的影響.結果錶明:製備的薄膜錶麵光滑均勻,結構緻密,最小晶粒呎吋約15 nm;薄膜的晶型主要依賴于沉積溫度,低于300 ℃沉積的薄膜是無定形的,300 ℃之上沉積的薄膜是銳鈦礦結構.
이사록화태위원물질,아기위재기,양기위반응기체,이용저온등리자체증강화학기상침적재규기표면제비출료TiO2박막.사용장발사소묘전자현미경、X사선연사의등검측분석표정TiO2박막적성능여성질,병탐토료공예조건여기편재료、침적시간화기편온도대박막성능적영향.결과표명:제비적박막표면광활균균,결구치밀,최소정립척촌약15 nm;박막적정형주요의뢰우침적온도,저우300 ℃침적적박막시무정형적,300 ℃지상침적적박막시예태광결구.
