纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术
납미TiO2박막적저온등리자체제비기술
Preparation of nano TiO2 thin films by plasma-enhanced chemical vapor deposition method
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2010年 8期 1909-1913 ,共5页

    陈兆权%刘明海%但敏%唐亮%程莉莉%胡鹏%胡希伟

    진조권%류명해%단민%당량%정리리%호붕%호희위

    等离子体%化学气相沉积%二氧化钛薄膜%晶体结构%表面形貌%光学性能 等離子體%化學氣相沉積%二氧化鈦薄膜%晶體結構%錶麵形貌%光學性能
    등리자체%화학기상침적%이양화태박막%정체결구%표면형모%광학성능
    以四氯化钛为源物质,氩气为载气,氧气为反应气体,利用低温等离子体增强化学气相沉积在硅基表面制备出了TiO2薄膜.使用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪等检测分析表征TiO2薄膜的性能与性质,并探讨了工艺条件如基片材料、沉积时间和基片温度对薄膜性能的影响.结果表明:制备的薄膜表面光滑均匀,结构致密,最小晶粒尺寸约15 nm;薄膜的晶型主要依赖于沉积温度,低于300 ℃沉积的薄膜是无定形的,300 ℃之上沉积的薄膜是锐钛矿结构.
    이사록화태위원물질,아기위재기,양기위반응기체,이용저온등리자체증강화학기상침적재규기표면제비출료TiO2박막.사용장발사소묘전자현미경、X사선연사의등검측분석표정TiO2박막적성능여성질,병탐토료공예조건여기편재료、침적시간화기편온도대박막성능적영향.결과표명:제비적박막표면광활균균,결구치밀,최소정립척촌약15 nm;박막적정형주요의뢰우침적온도,저우300 ℃침적적박막시무정형적,300 ℃지상침적적박막시예태광결구.
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