光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2010年
5期
84-88
,共5页
真空紫外%高反膜%膜系设计%反射率
真空紫外%高反膜%膜繫設計%反射率
진공자외%고반막%막계설계%반사솔
在真空紫外强吸收波段采用"逐层"(LBL)设计法.通过阐述"逐层"设计的理论基础和膜材选择的基本原则,运用MatLab软件,用解析加复平面作图法设计了对应于50～200nm波段的高反膜系.以熔融石英基底上硅、碳组成的膜系为例,用这种设计方法获得的平均反射率最高可达64%.对比常规周期多层膜,这种设计法可以明显地提高强吸收波段的反射率.
在真空紫外彊吸收波段採用"逐層"(LBL)設計法.通過闡述"逐層"設計的理論基礎和膜材選擇的基本原則,運用MatLab軟件,用解析加複平麵作圖法設計瞭對應于50～200nm波段的高反膜繫.以鎔融石英基底上硅、碳組成的膜繫為例,用這種設計方法穫得的平均反射率最高可達64%.對比常規週期多層膜,這種設計法可以明顯地提高彊吸收波段的反射率.
재진공자외강흡수파단채용"축층"(LBL)설계법.통과천술"축층"설계적이론기출화막재선택적기본원칙,운용MatLab연건,용해석가복평면작도법설계료대응우50～200nm파단적고반막계.이용융석영기저상규、탄조성적막계위례,용저충설계방법획득적평균반사솔최고가체64%.대비상규주기다층막,저충설계법가이명현지제고강흡수파단적반사솔.
