压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2011年
3期
479-485,492
,共8页
钟博文%王振华%陈立国%孙立宁
鐘博文%王振華%陳立國%孫立寧
종박문%왕진화%진입국%손립저
粘滑驱动%跨尺度%精密定位%纳米操作
粘滑驅動%跨呎度%精密定位%納米操作
점활구동%과척도%정밀정위%납미조작
目前跨尺度纳米定位技术在纳米操作、大规模集成电路制造和生物技术等众多领域都有着广泛的应用前景.该文对目前应用较多的宏微混合式驱动、压电超声马达驱动、尺蠖式驱动和粘滑式驱动这4种跨尺度定位技术驱动原理进行了介绍,并对其分辨率、速度、推力、尺寸、驱动器数量和结构6个方面进行了比较和分析,得出粘滑驱动以其驱动范围大,分辨率高,结构简单,体积小和集成度高等突出优点,适用于微纳操作领域.对目前国内外粘滑驱动在驱动原理、关键技术和样机实验方面的研究进行了分析,总结出目前粘滑驱动研究中的研究基础和不足,并提出了有待解决的问题和关键技术.
目前跨呎度納米定位技術在納米操作、大規模集成電路製造和生物技術等衆多領域都有著廣汎的應用前景.該文對目前應用較多的宏微混閤式驅動、壓電超聲馬達驅動、呎蠖式驅動和粘滑式驅動這4種跨呎度定位技術驅動原理進行瞭介紹,併對其分辨率、速度、推力、呎吋、驅動器數量和結構6箇方麵進行瞭比較和分析,得齣粘滑驅動以其驅動範圍大,分辨率高,結構簡單,體積小和集成度高等突齣優點,適用于微納操作領域.對目前國內外粘滑驅動在驅動原理、關鍵技術和樣機實驗方麵的研究進行瞭分析,總結齣目前粘滑驅動研究中的研究基礎和不足,併提齣瞭有待解決的問題和關鍵技術.
목전과척도납미정위기술재납미조작、대규모집성전로제조화생물기술등음다영역도유착엄범적응용전경.해문대목전응용교다적굉미혼합식구동、압전초성마체구동、척확식구동화점활식구동저4충과척도정위기술구동원리진행료개소,병대기분변솔、속도、추력、척촌、구동기수량화결구6개방면진행료비교화분석,득출점활구동이기구동범위대,분변솔고,결구간단,체적소화집성도고등돌출우점,괄용우미납조작영역.대목전국내외점활구동재구동원리、관건기술화양궤실험방면적연구진행료분석,총결출목전점활구동연구중적연구기출화불족,병제출료유대해결적문제화관건기술.
