中山大学学报（自然科学版）
中山大學學報（自然科學版）
중산대학학보（자연과학판）
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI
2011年
6期
35-38
,共4页
阳生红%蒋志洁%张日理%汤健%王旭升
暘生紅%蔣誌潔%張日理%湯健%王旭升
양생홍%장지길%장일리%탕건%왕욱승
Al-Y共掺杂%ZnO透明导电薄膜%溶胶-凝胶
Al-Y共摻雜%ZnO透明導電薄膜%溶膠-凝膠
Al-Y공참잡%ZnO투명도전박막%용효-응효
采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜.X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向.制备的Al-Y共掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为1.63×102Ω·cm,在可见光区(400 - 800 nm)平均透过率超过85％.
採用溶膠-凝膠法,在玻璃襯底上製備齣Al-Y共摻雜的ZnO透明導電薄膜.X射線衍射(XRD)錶明,Al-Y共摻雜ZnO透明導電薄膜為六角纖鋅礦結構的多晶薄膜,且具有C軸擇優取嚮.製備的Al-Y共摻雜ZnO薄膜電阻率最小值為1.63×102Ω·cm,在可見光區(400 - 800 nm)平均透過率超過85％.
채용용효-응효법,재파리츤저상제비출Al-Y공참잡적ZnO투명도전박막.X사선연사(XRD)표명,Al-Y공참잡ZnO투명도전박막위륙각섬자광결구적다정박막,차구유C축택우취향.제비적Al-Y공참잡ZnO박막전조솔최소치위1.63×102Ω·cm,재가견광구(400 - 800 nm)평균투과솔초과85％.
