CAJ | 학술논문

采用TG-DTA及GC-MS联用分析手段研究了CVD(Chemical Vapor Depo-sition,化学气相沉积)铱的前驱体三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)的热分解行为.结果表明,在氧气气氛下,三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)在258℃时开始燃烧分解,并伴随着升华失重,燃烧释放的热量远大于升华所需的热量,气相中的主要分解产物为2,4-戊二酮、二氧化碳和2,5-二甲基-3-乙酰基呋喃等.而在惰性的氩气气氛下,三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)从239℃开始大量吸热升华并明显失重,它不会燃烧,只能随着温度的升高加快升华,当温度高于300℃后开始分解,气相中的主要分解产物为2,4-戊二酮、3-丁烯-2-酮和2,5-二甲基呋喃等.三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)在氧气气氛下由于能够比较充分地氧化,因而分解产物种类比在惰性气氛下由于自身分解而生成的产物种类少并且稳定.对不同气氛下所制备铱涂层的SEM研究结果表明,以三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)作为前驱体制备铱涂层时,以掺有适量氧气的惰性气体(比如氩气流量为50mL·min-1,氧气流量为3 mL·min-1)作为载气能得到致密光亮的铱涂层.本文还对三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)主要热分解产物的自由基生成机理进行了探讨.
채용TG-DTA급GC-MS련용분석수단연구료CVD(Chemical Vapor Depo-sition,화학기상침적)의적전구체삼(2,4-무이동)합의(Ⅲ)적열분해행위.결과표명,재양기기분하,삼(2,4-무이동)합의(Ⅲ)재258℃시개시연소분해,병반수착승화실중,연소석방적열량원대우승화소수적열량,기상중적주요분해산물위2,4-무이동、이양화탄화2,5-이갑기-3-을선기부남등.이재타성적아기기분하,삼(2,4-무이동)합의(Ⅲ)종239℃개시대량흡열승화병명현실중,타불회연소,지능수착온도적승고가쾌승화,당온도고우300℃후개시분해,기상중적주요분해산물위2,4-무이동、3-정희-2-동화2,5-이갑기부남등.삼(2,4-무이동)합의(Ⅲ)재양기기분하유우능구비교충분지양화,인이분해산물충류비재타성기분하유우자신분해이생성적산물충류소병차은정.대불동기분하소제비의도층적SEM연구결과표명,이삼(2,4-무이동)합의(Ⅲ)작위전구체제비의도층시,이참유괄량양기적타성기체(비여아기류량위50mL·min-1,양기류량위3 mL·min-1)작위재기능득도치밀광량적의도층.본문환대삼(2,4-무이동)합의(Ⅲ)주요열분해산물적자유기생성궤리진행료탐토.