微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
4期
12-15,30
,共5页
叶枝灿%徐东%王芸%王莉%吴茂松
葉枝燦%徐東%王蕓%王莉%吳茂鬆
협지찬%서동%왕예%왕리%오무송
光刻胶%回流%平面化%牺牲层
光刻膠%迴流%平麵化%犧牲層
광각효%회류%평면화%희생층
研究了一种利用光刻胶的回流特性去除表面的磨痕,使其表面平整化的方法,结合牺牲层结构可以非常简便地制备出微机电器件中各种悬臂梁结构.着重研究了光刻胶的前烘胶温度、回流温度、回流时间对回流效果的影响.通过大量的实验得到了较好的回流工艺,即光刻胶90 ℃下60 min前烘后,并在90 ℃下回流60 min,不但能通过机械抛光准确控制减薄厚度,而且还可以完全除去其表面的磨痕,获得平滑的表面结构.
研究瞭一種利用光刻膠的迴流特性去除錶麵的磨痕,使其錶麵平整化的方法,結閤犧牲層結構可以非常簡便地製備齣微機電器件中各種懸臂樑結構.著重研究瞭光刻膠的前烘膠溫度、迴流溫度、迴流時間對迴流效果的影響.通過大量的實驗得到瞭較好的迴流工藝,即光刻膠90 ℃下60 min前烘後,併在90 ℃下迴流60 min,不但能通過機械拋光準確控製減薄厚度,而且還可以完全除去其錶麵的磨痕,穫得平滑的錶麵結構.
연구료일충이용광각효적회류특성거제표면적마흔,사기표면평정화적방법,결합희생층결구가이비상간편지제비출미궤전기건중각충현비량결구.착중연구료광각효적전홍효온도、회류온도、회류시간대회류효과적영향.통과대량적실험득도료교호적회류공예,즉광각효90 ℃하60 min전홍후,병재90 ℃하회류60 min,불단능통과궤계포광준학공제감박후도,이차환가이완전제거기표면적마흔,획득평활적표면결구.
