真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
3期
172-175
,共4页
邹继军%钱芸生%常本康%王惠%王世允
鄒繼軍%錢蕓生%常本康%王惠%王世允
추계군%전예생%상본강%왕혜%왕세윤
GaAs光电阴极%多信息量%压强%热脱附%光电流%现场总线
GaAs光電陰極%多信息量%壓彊%熱脫附%光電流%現場總線
GaAs광전음겁%다신식량%압강%열탈부%광전류%현장총선
研制了一套基于现场总线技术的GaAs光电阴极多信息量测试系统,该系统可在线测试和保存阴极制备过程中的大部分信息量,如激活系统的真空度、阴极光电流、光谱响应曲线、Cs源和O源电流等.实验测试了GaAs光电阴极加热净化过程中真空度随温度的变化曲线,分析发现,高温净化时有几个真空度下降较快的区域,为160℃～280℃、400℃～500℃、570℃～600℃,分别是由于AsO的脱附和水分的蒸发、As2O3分解和Ga2O脱附、GaAs和Ga2O3的分解所致,低温净化真空度在370℃后下降较快,这是由于吸附在阴极表面的Cs脱附速度加快造成的.实验还测试了激活过程中多种信息量的变化,发现了真空度和光电流随Cs源和O源电流的变化规律,这些大大方便了对激活工艺进行深入细致的分析研究.
研製瞭一套基于現場總線技術的GaAs光電陰極多信息量測試繫統,該繫統可在線測試和保存陰極製備過程中的大部分信息量,如激活繫統的真空度、陰極光電流、光譜響應麯線、Cs源和O源電流等.實驗測試瞭GaAs光電陰極加熱淨化過程中真空度隨溫度的變化麯線,分析髮現,高溫淨化時有幾箇真空度下降較快的區域,為160℃～280℃、400℃～500℃、570℃～600℃,分彆是由于AsO的脫附和水分的蒸髮、As2O3分解和Ga2O脫附、GaAs和Ga2O3的分解所緻,低溫淨化真空度在370℃後下降較快,這是由于吸附在陰極錶麵的Cs脫附速度加快造成的.實驗還測試瞭激活過程中多種信息量的變化,髮現瞭真空度和光電流隨Cs源和O源電流的變化規律,這些大大方便瞭對激活工藝進行深入細緻的分析研究.
연제료일투기우현장총선기술적GaAs광전음겁다신식량측시계통,해계통가재선측시화보존음겁제비과정중적대부분신식량,여격활계통적진공도、음겁광전류、광보향응곡선、Cs원화O원전류등.실험측시료GaAs광전음겁가열정화과정중진공도수온도적변화곡선,분석발현,고온정화시유궤개진공도하강교쾌적구역,위160℃～280℃、400℃～500℃、570℃～600℃,분별시유우AsO적탈부화수분적증발、As2O3분해화Ga2O탈부、GaAs화Ga2O3적분해소치,저온정화진공도재370℃후하강교쾌,저시유우흡부재음겁표면적Cs탈부속도가쾌조성적.실험환측시료격활과정중다충신식량적변화,발현료진공도화광전류수Cs원화O원전류적변화규률,저사대대방편료대격활공예진행심입세치적분석연구.
