大连理工大学学报
大連理工大學學報
대련리공대학학보
JOURNAL OF DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2006年
3期
442-445
,共4页
李新%唐祯安%徐军%鲍海飞
李新%唐禎安%徐軍%鮑海飛
리신%당정안%서군%포해비
类金刚石膜%微机电系统%黏附%悬臂梁
類金剛石膜%微機電繫統%黏附%懸臂樑
류금강석막%미궤전계통%점부%현비량
介绍了微机电系统(MEMS)中存在的黏附问题,对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析. 采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石(DLC)膜,通过扫描电子显微镜(SEM)表征未发生黏附的悬臂梁最长长度. 发现衬底上有DLC膜时,未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145 μm;而无DLC膜时,平均不到80 μm. 利用原子力显微镜(AFM)测得DLC膜表面的黏附力在7 nN左右,而硅衬底表面的黏附力大约为20 nN. 实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力,减轻了多晶硅悬臂梁的黏附.
介紹瞭微機電繫統(MEMS)中存在的黏附問題,對引起黏附的原因和如何解決黏附問題進行瞭分析. 採用犧牲層腐蝕技術在多晶硅懸臂樑下錶麵製備類金剛石(DLC)膜,通過掃描電子顯微鏡(SEM)錶徵未髮生黏附的懸臂樑最長長度. 髮現襯底上有DLC膜時,未髮生黏附的懸臂樑最長長度平均約為145 μm;而無DLC膜時,平均不到80 μm. 利用原子力顯微鏡(AFM)測得DLC膜錶麵的黏附力在7 nN左右,而硅襯底錶麵的黏附力大約為20 nN. 實驗結果錶明DLC膜降低瞭懸臂樑與襯底之間的毛細引力和固體間黏附力,減輕瞭多晶硅懸臂樑的黏附.
개소료미궤전계통(MEMS)중존재적점부문제,대인기점부적원인화여하해결점부문제진행료분석. 채용희생층부식기술재다정규현비량하표면제비류금강석(DLC)막,통과소묘전자현미경(SEM)표정미발생점부적현비량최장장도. 발현츤저상유DLC막시,미발생점부적현비량최장장도평균약위145 μm;이무DLC막시,평균불도80 μm. 이용원자력현미경(AFM)측득DLC막표면적점부력재7 nN좌우,이규츤저표면적점부력대약위20 nN. 실험결과표명DLC막강저료현비량여츤저지간적모세인력화고체간점부력,감경료다정규현비량적점부.
