中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2007年
5期
715-718
,共4页
超快光学%飞秒激光%微突起%波纹结构
超快光學%飛秒激光%微突起%波紋結構
초쾌광학%비초격광%미돌기%파문결구
利用飞秒激光振荡器产生的脉冲对镀有铬层的玻璃和石英基片进行微加工,发现两种样品表面均有波纹状的微突起结构产生.这些微突起结构离开样品表面的高度为10～300 nm不等,并且随着激光功率的增大而增加,在一定功率下达到饱和状态.它们的形貌、尺寸和高度取决于入射飞秒激光的能流以及飞秒脉冲的参数.通过化学方法证明了这些微突起结构是由玻璃和石英的主要成分SiO2组成的,并非样品表面的铬元素.此外,通过选取适当的飞秒激光功率和样品加工速度,制作了两种不同周期和线宽的光栅结构,显示出飞秒激光振荡器良好的加工性能.
利用飛秒激光振盪器產生的脈遲對鍍有鉻層的玻璃和石英基片進行微加工,髮現兩種樣品錶麵均有波紋狀的微突起結構產生.這些微突起結構離開樣品錶麵的高度為10～300 nm不等,併且隨著激光功率的增大而增加,在一定功率下達到飽和狀態.它們的形貌、呎吋和高度取決于入射飛秒激光的能流以及飛秒脈遲的參數.通過化學方法證明瞭這些微突起結構是由玻璃和石英的主要成分SiO2組成的,併非樣品錶麵的鉻元素.此外,通過選取適噹的飛秒激光功率和樣品加工速度,製作瞭兩種不同週期和線寬的光柵結構,顯示齣飛秒激光振盪器良好的加工性能.
이용비초격광진탕기산생적맥충대도유락층적파리화석영기편진행미가공,발현량충양품표면균유파문상적미돌기결구산생.저사미돌기결구리개양품표면적고도위10～300 nm불등,병차수착격광공솔적증대이증가,재일정공솔하체도포화상태.타문적형모、척촌화고도취결우입사비초격광적능류이급비초맥충적삼수.통과화학방법증명료저사미돌기결구시유파리화석영적주요성분SiO2조성적,병비양품표면적락원소.차외,통과선취괄당적비초격광공솔화양품가공속도,제작료량충불동주기화선관적광책결구,현시출비초격광진탕기량호적가공성능.
