北京大学学报(自然科学版)
北京大學學報(自然科學版)
북경대학학보(자연과학판)
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS PEKINENSIS
2008年
1期
98-102
,共5页
陈江华%项斌%莫邦燹%王展飞%倪学文
陳江華%項斌%莫邦燹%王展飛%倪學文
진강화%항빈%막방선%왕전비%예학문
MEMS%电容加速度计%读出电路%低通滤波器%CMOS
MEMS%電容加速度計%讀齣電路%低通濾波器%CMOS
MEMS%전용가속도계%독출전로%저통려파기%CMOS
提出了一种适于MEMS电容加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器,带宽调节范围为100～8000kHz.信号频率低于500Hz 时选用开关电容低通滤波器,高于500 Hz 的信号则由连续时间低通滤波器来处理.该低通滤波器采用1.2μm的 2P2M 的 N-阱 CMOS 工艺实现.设计中分析并解决了因时钟信号引起的制约开关性能的因素:优化的开关时序消除了电荷注入引起的非线性;时钟馈通敏感节点增加虚拟开关抵消了耦合电荷;高PSRR共源共栅折叠式差分输入结构,有效地抑制了来自电源的干扰,改善了电路的性能.
提齣瞭一種適于MEMS電容加速度計讀齣電路帶寬可調的低通濾波器,帶寬調節範圍為100～8000kHz.信號頻率低于500Hz 時選用開關電容低通濾波器,高于500 Hz 的信號則由連續時間低通濾波器來處理.該低通濾波器採用1.2μm的 2P2M 的 N-阱 CMOS 工藝實現.設計中分析併解決瞭因時鐘信號引起的製約開關性能的因素:優化的開關時序消除瞭電荷註入引起的非線性;時鐘饋通敏感節點增加虛擬開關牴消瞭耦閤電荷;高PSRR共源共柵摺疊式差分輸入結構,有效地抑製瞭來自電源的榦擾,改善瞭電路的性能.
제출료일충괄우MEMS전용가속도계독출전로대관가조적저통려파기,대관조절범위위100～8000kHz.신호빈솔저우500Hz 시선용개관전용저통려파기,고우500 Hz 적신호칙유련속시간저통려파기래처리.해저통려파기채용1.2μm적 2P2M 적 N-정 CMOS 공예실현.설계중분석병해결료인시종신호인기적제약개관성능적인소:우화적개관시서소제료전하주입인기적비선성;시종궤통민감절점증가허의개관저소료우합전하;고PSRR공원공책절첩식차분수입결구,유효지억제료래자전원적간우,개선료전로적성능.
