硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征
규태양전지용MgF2/ZnS쌍층감반사박막적제비급표정
Preparation and Characterization of MgF2/ZnS Double-layer Antireflection Films Applied in Silicon Solar Cells
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2009年 3期 547-551 ,共5页

    孙秀菊%李海玲%励旭东%任丙彦%周春兰%赵雷%王文静

    손수국%리해령%려욱동%임병언%주춘란%조뢰%왕문정

    ZnS薄膜%MgF2薄膜%减反射薄膜%真空热蒸发 ZnS薄膜%MgF2薄膜%減反射薄膜%真空熱蒸髮
    ZnS박막%MgF2박막%감반사박막%진공열증발
    采用真空热蒸发技术,制备出了性能优良的MgF2/ZnS双层减反射薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析,采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度,利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征.研究表明:衬底温度为200 ℃时薄膜附着力、结晶态良好;蒸发速率影响薄膜的表面形态;MgF2/ZnS厚度为110 nm/35 nm时具有最佳减反射效果.
    채용진공열증발기술,제비출료성능우량적MgF2/ZnS쌍층감반사박막.채용소묘전자현미경、X사선연사의대박막적형모이급결정형태진행분석,채용타원편진의측시박막적절사계수급후도,이용반사보대쌍층감반사박막적감반사성능진행료표정.연구표명:츤저온도위200 ℃시박막부착력、결정태량호;증발속솔영향박막적표면형태;MgF2/ZnS후도위110 nm/35 nm시구유최가감반사효과.
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