CAJ | 학술논문

万方数据

表面技术 표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2011年 6期 82-84,93 ,共4页

廖国%王冰%张玲%牛忠彩%张志娇%何智兵%杨晓峰%李俊%许华%陈太红%曾体贤%谌家军

료국%왕빙%장령%우충채%장지교%하지병%양효봉%리준%허화%진태홍%증체현%심가군

直流磁控溅射%Mo薄膜%工作气压%沉积速率%表面形貌直流磁控濺射%Mo薄膜%工作氣壓%沉積速率%錶麵形貌
직류자공천사%Mo박막%공작기압%침적속솔%표면형모

采用直流磁控溅射沉积技术在不同工作气压下制备Mo膜,研究了工作气压对Mo膜的沉积速率、表面形貌及晶型结构的影响规律,研究表明:工作气压在0.1～0.5 Pa范围内,沉积速率基本保持不变,在0.5～1.5 Pa范围内沉积速率随工作气压的升高而增大；Mo膜的表面粗糙度随工作气压的升高而增加；不同工作气压下制备的Mo膜为立方结构,在较低工作气压下薄膜结晶性能较好.
채용직류자공천사침적기술재불동공작기압하제비Mo막,연구료공작기압대Mo막적침적속솔、표면형모급정형결구적영향규률,연구표명:공작기압재0.1～0.5 Pa범위내,침적속솔기본보지불변,재0.5～1.5 Pa범위내침적속솔수공작기압적승고이증대；Mo막적표면조조도수공작기압적승고이증가；불동공작기압하제비적Mo막위립방결구,재교저공작기압하박막결정성능교호.