传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
5期
599-603
,共5页
崔焕焕%刘刚%周杰%熊瑛%田扬超
崔煥煥%劉剛%週傑%熊瑛%田颺超
최환환%류강%주걸%웅영%전양초
微机电系统%辅助结构%实时监测%大高宽比纳米结构%衍射效率
微機電繫統%輔助結構%實時鑑測%大高寬比納米結構%衍射效率
미궤전계통%보조결구%실시감측%대고관비납미결구%연사효솔
提出了一种引入辅助结构作为显影过程的监测对象来实现对大高宽比纳米结构高度变化进行实时无损监测的方法.随着结构高度的变化,矩形光栅表现出明显的光学性质的变化,便于进行光学监测,适合用作辅助结构.使用光栅负一级和正一级衍射效率两个参数作为监测依据,首先通过观测它们的起伏变化得到结构大致的高度范围,然后通过观测负一级与正一级的比值得到结构高度的精确值,从而实现对大高宽比纳米结构高度的实时监测.以高度为3μm的纳米结构为例,设计了线密度为50线/mm和160线/mm的矩形光栅作为辅助结构来监测显影过程中结构高度的变化.模拟结果表明,通过监测光栅衍射效率的变化可以有效地监测纳米结构高度的变化,该方法适用于对大高宽比纳米结构的显影过程进行实时监测.
提齣瞭一種引入輔助結構作為顯影過程的鑑測對象來實現對大高寬比納米結構高度變化進行實時無損鑑測的方法.隨著結構高度的變化,矩形光柵錶現齣明顯的光學性質的變化,便于進行光學鑑測,適閤用作輔助結構.使用光柵負一級和正一級衍射效率兩箇參數作為鑑測依據,首先通過觀測它們的起伏變化得到結構大緻的高度範圍,然後通過觀測負一級與正一級的比值得到結構高度的精確值,從而實現對大高寬比納米結構高度的實時鑑測.以高度為3μm的納米結構為例,設計瞭線密度為50線/mm和160線/mm的矩形光柵作為輔助結構來鑑測顯影過程中結構高度的變化.模擬結果錶明,通過鑑測光柵衍射效率的變化可以有效地鑑測納米結構高度的變化,該方法適用于對大高寬比納米結構的顯影過程進行實時鑑測.
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