太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2004年
2期
152-156
,共5页
莫建良%陈华%曹涯雁%刘起英%汪建勋%翁文剑%韩高荣
莫建良%陳華%曹涯雁%劉起英%汪建勛%翁文劍%韓高榮
막건량%진화%조애안%류기영%왕건훈%옹문검%한고영
CVD%F掺杂SnO2薄膜%微结构%性能
CVD%F摻雜SnO2薄膜%微結構%性能
CVD%F참잡SnO2박막%미결구%성능
通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质,详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系.研究发现,将基板温度从375℃提高到525℃以上,薄膜结晶程度大大提高,薄膜厚度从25m提高到近300nm,方块电阻下降了两个数量级,中远红外的反射率达到了85%以上.
通過實驗測量常壓熱分解CVD工藝製備的F摻雜SnO2薄膜的方塊電阻、膜厚、形貌、微結構、中遠紅外反射率等性質,詳細研究瞭基闆溫度對SnO2薄膜微結構的影響和微結構與薄膜電學、光學性能之間的關繫.研究髮現,將基闆溫度從375℃提高到525℃以上,薄膜結晶程度大大提高,薄膜厚度從25m提高到近300nm,方塊電阻下降瞭兩箇數量級,中遠紅外的反射率達到瞭85%以上.
통과실험측량상압열분해CVD공예제비적F참잡SnO2박막적방괴전조、막후、형모、미결구、중원홍외반사솔등성질,상세연구료기판온도대SnO2박막미결구적영향화미결구여박막전학、광학성능지간적관계.연구발현,장기판온도종375℃제고도525℃이상,박막결정정도대대제고,박막후도종25m제고도근300nm,방괴전조하강료량개수량급,중원홍외적반사솔체도료85%이상.
