具有渐变层半导体DBR的MOCVD外延制备
구유점변층반도체DBR적MOCVD외연제비
MOCVD grown DBR with graded interface
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2006年 3期 207-210 ,共4页

    盖红星%邓军%廉鹏%俞波%李建军%韩军%陈建新%沈光地

    개홍성%산군%렴붕%유파%리건군%한군%진건신%침광지

    布拉格反射镜%金属有机化合物气相淀积%原子力显微镜%AlGaAs 佈拉格反射鏡%金屬有機化閤物氣相澱積%原子力顯微鏡%AlGaAs
    포랍격반사경%금속유궤화합물기상정적%원자력현미경%AlGaAs
    应用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜(DBR),分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR.三种反射镜结构都设计为8个周期,通过白光反射谱测量突变DBR具有最大反射率.应用原子力显微镜对所制备的DBR表面形貌进行分析.结果表明,相同周期数情况下线性渐变DBR相对于其他两种结构粗糙度最小,具有良好的表面形貌,可以应用于垂直腔面发射激光器的研制.
    응용금속유궤화합물기상정적(MOCVD)제비료구유점변층적반도체포랍격반사경(DBR),분별시포물선성、선성화돌변결구적DBR.삼충반사경결구도설계위8개주기,통과백광반사보측량돌변DBR구유최대반사솔.응용원자력현미경대소제비적DBR표면형모진행분석.결과표명,상동주기수정황하선성점변DBR상대우기타량충결구조조도최소,구유량호적표면형모,가이응용우수직강면발사격광기적연제.
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