传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
7期
1128-1131
,共4页
ZnO薄膜%磁控溅射%肖特基二极管%紫外探测器
ZnO薄膜%磁控濺射%肖特基二極管%紫外探測器
ZnO박막%자공천사%초특기이겁관%자외탐측기
利用射频磁控溅射技术在SiO2/n-Si衬底上制备了ZnO薄膜,并在薄膜上制作了Ag-ZnO肖特基二极管和Ag-ZnO-Ag肖特基MSM叉指结构的紫外探测器.所制备的ZnO薄膜具有良好的c轴择优取向,表面平整,在可见光范围具有较高的透射率,吸收边在370 nm附近;所制作的肖特基二极管显示了良好的整流特性,有效势垒高度约为0.65 eV;所制作的MSM紫外探测器在5 V偏压下漏电流为3.3×10-8 A,在紫外波段有较高的响应度,光响应度峰值在365 nm附近.
利用射頻磁控濺射技術在SiO2/n-Si襯底上製備瞭ZnO薄膜,併在薄膜上製作瞭Ag-ZnO肖特基二極管和Ag-ZnO-Ag肖特基MSM扠指結構的紫外探測器.所製備的ZnO薄膜具有良好的c軸擇優取嚮,錶麵平整,在可見光範圍具有較高的透射率,吸收邊在370 nm附近;所製作的肖特基二極管顯示瞭良好的整流特性,有效勢壘高度約為0.65 eV;所製作的MSM紫外探測器在5 V偏壓下漏電流為3.3×10-8 A,在紫外波段有較高的響應度,光響應度峰值在365 nm附近.
이용사빈자공천사기술재SiO2/n-Si츤저상제비료ZnO박막,병재박막상제작료Ag-ZnO초특기이겁관화Ag-ZnO-Ag초특기MSM차지결구적자외탐측기.소제비적ZnO박막구유량호적c축택우취향,표면평정,재가견광범위구유교고적투사솔,흡수변재370 nm부근;소제작적초특기이겁관현시료량호적정류특성,유효세루고도약위0.65 eV;소제작적MSM자외탐측기재5 V편압하루전류위3.3×10-8 A,재자외파단유교고적향응도,광향응도봉치재365 nm부근.
