微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2010年
6期
899-903
,共5页
杨旸%张兆华%陈伟%刘理天%余志平
楊旸%張兆華%陳偉%劉理天%餘誌平
양양%장조화%진위%류리천%여지평
数字式压力传感器%环形振荡器%混频器%轮胎压力监测报警系统
數字式壓力傳感器%環形振盪器%混頻器%輪胎壓力鑑測報警繫統
수자식압력전감기%배형진탕기%혼빈기%륜태압력감측보경계통
研制了一种新型环振式数字压力传感器,它可应用于汽车轮胎压力监测报警系统(TPMS).采用硅薄膜上的PMOS环形振荡器作为压力敏感元件,两个反方向变化的环振输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减.该传感器具有准数字输出、温度系数低、灵敏度高以及制作工艺简单等特点.分析并设计了压力传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构.分析了环形振荡器的频率特性、环形振荡器的谐振频率与压力的关系,以及制作工艺,并制作了样品,其灵敏度为5.12 kHz/Bar.
研製瞭一種新型環振式數字壓力傳感器,它可應用于汽車輪胎壓力鑑測報警繫統(TPMS).採用硅薄膜上的PMOS環形振盪器作為壓力敏感元件,兩箇反方嚮變化的環振輸齣信號通過集成在片內的混頻器實現頻率相減.該傳感器具有準數字輸齣、溫度繫數低、靈敏度高以及製作工藝簡單等特點.分析併設計瞭壓力傳感器的環形振盪器電路、混頻器電路、物理結構.分析瞭環形振盪器的頻率特性、環形振盪器的諧振頻率與壓力的關繫,以及製作工藝,併製作瞭樣品,其靈敏度為5.12 kHz/Bar.
연제료일충신형배진식수자압력전감기,타가응용우기차륜태압력감측보경계통(TPMS).채용규박막상적PMOS배형진탕기작위압력민감원건,량개반방향변화적배진수출신호통과집성재편내적혼빈기실현빈솔상감.해전감기구유준수자수출、온도계수저、령민도고이급제작공예간단등특점.분석병설계료압력전감기적배형진탕기전로、혼빈기전로、물리결구.분석료배형진탕기적빈솔특성、배형진탕기적해진빈솔여압력적관계,이급제작공예,병제작료양품,기령민도위5.12 kHz/Bar.
