稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2011年
4期
617-622
,共6页
涂凡%苏小平%张峰燚%黎建明%丁国强
塗凡%囌小平%張峰燚%黎建明%丁國彊
도범%소소평%장봉일%려건명%정국강
垂直梯度凝固%数值模拟%空隙%固液界面%热应力分布
垂直梯度凝固%數值模擬%空隙%固液界麵%熱應力分佈
수직제도응고%수치모의%공극%고액계면%열응력분포
在VGF法生长6英寸GaAs单晶的实际生长过程中,坩埚与坩埚托之间难以实现完全的理想贴合.坩埚与埚托之间的空隙对晶体生长过程中的温场和固液界面形状影响较大.通过模拟计算5种不同的空隙形状时的温场与热应力分布,发现随着空隙面积的增大,固液界面在轴向上的位置逐渐下降.在锥形空隙情况下,得到一个平坦的固液界面.设计了两种不同的空隙填充方案,模拟计算的结果表明,液态Ga完全填充时,在晶体轴向上热应力的分布较为平缓,有利于生长低位错、高质量的GaAs单晶.
在VGF法生長6英吋GaAs單晶的實際生長過程中,坩堝與坩堝託之間難以實現完全的理想貼閤.坩堝與堝託之間的空隙對晶體生長過程中的溫場和固液界麵形狀影響較大.通過模擬計算5種不同的空隙形狀時的溫場與熱應力分佈,髮現隨著空隙麵積的增大,固液界麵在軸嚮上的位置逐漸下降.在錐形空隙情況下,得到一箇平坦的固液界麵.設計瞭兩種不同的空隙填充方案,模擬計算的結果錶明,液態Ga完全填充時,在晶體軸嚮上熱應力的分佈較為平緩,有利于生長低位錯、高質量的GaAs單晶.
재VGF법생장6영촌GaAs단정적실제생장과정중,감과여감과탁지간난이실현완전적이상첩합.감과여과탁지간적공극대정체생장과정중적온장화고액계면형상영향교대.통과모의계산5충불동적공극형상시적온장여열응력분포,발현수착공극면적적증대,고액계면재축향상적위치축점하강.재추형공극정황하,득도일개평탄적고액계면.설계료량충불동적공극전충방안,모의계산적결과표명,액태Ga완전전충시,재정체축향상열응력적분포교위평완,유리우생장저위착、고질량적GaAs단정.
