云南师范大学学报（自然科学版）
雲南師範大學學報（自然科學版）
운남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF YUNAN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES EDITION)
2011年
5期
28-32
,共5页
张树明%廖华%何京鸿%尹云坤%胡俊涛%罗群
張樹明%廖華%何京鴻%尹雲坤%鬍俊濤%囉群
장수명%료화%하경홍%윤운곤%호준도%라군
PECVD氮化硅减反射膜%工艺参数%优化
PECVD氮化硅減反射膜%工藝參數%優化
PECVD담화규감반사막%공예삼수%우화
根据太阳电池组件的结构和封装材料特性,设计出硅太阳电池片减反射薄膜的最佳厚度和折射率,利用泰勒公式进行优化PECVD制备氮化硅薄膜的工艺参数.通过实验,找出适合中电48所工业生产用管式PECVD制备氮化硅薄膜的工艺参数.
根據太暘電池組件的結構和封裝材料特性,設計齣硅太暘電池片減反射薄膜的最佳厚度和摺射率,利用泰勒公式進行優化PECVD製備氮化硅薄膜的工藝參數.通過實驗,找齣適閤中電48所工業生產用管式PECVD製備氮化硅薄膜的工藝參數.
근거태양전지조건적결구화봉장재료특성,설계출규태양전지편감반사박막적최가후도화절사솔,이용태륵공식진행우화PECVD제비담화규박막적공예삼수.통과실험,조출괄합중전48소공업생산용관식PECVD제비담화규박막적공예삼수.
