江苏大学学报（自然科学版）
江囌大學學報（自然科學版）
강소대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIANGSU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
1期
83-87,101
,共6页
许伯强%张子国%徐晨光%徐桂东%杨小平
許伯彊%張子國%徐晨光%徐桂東%楊小平
허백강%장자국%서신광%서계동%양소평
薄膜%双温模型%皮秒超声%有限元%数值模拟
薄膜%雙溫模型%皮秒超聲%有限元%數值模擬
박막%쌍온모형%피초초성%유한원%수치모의
基于双温模型和热弹性耦合理论,采用有限元方法,针对A1/Si3N4和A1/Si3N4/Si两种层状薄膜材料中激励皮秒超声,建立激光飞秒超声的有限元数值模型,得到A1薄膜中电子和晶格的温度场,进而分析薄膜内部的应变和表面位移响应.对比研究了双温模型理论和傅里叶热传导理论的计算,结果表明皮秒超声研究采用双温模型求解温度场更为合适,数值分析得到应变具有幅值较小且波形展宽的结果.表面位移响应峰的形成是超声波在薄膜材料界面处发生反射引起的.
基于雙溫模型和熱彈性耦閤理論,採用有限元方法,針對A1/Si3N4和A1/Si3N4/Si兩種層狀薄膜材料中激勵皮秒超聲,建立激光飛秒超聲的有限元數值模型,得到A1薄膜中電子和晶格的溫度場,進而分析薄膜內部的應變和錶麵位移響應.對比研究瞭雙溫模型理論和傅裏葉熱傳導理論的計算,結果錶明皮秒超聲研究採用雙溫模型求解溫度場更為閤適,數值分析得到應變具有幅值較小且波形展寬的結果.錶麵位移響應峰的形成是超聲波在薄膜材料界麵處髮生反射引起的.
기우쌍온모형화열탄성우합이론,채용유한원방법,침대A1/Si3N4화A1/Si3N4/Si량충층상박막재료중격려피초초성,건립격광비초초성적유한원수치모형,득도A1박막중전자화정격적온도장,진이분석박막내부적응변화표면위이향응.대비연구료쌍온모형이론화부리협열전도이론적계산,결과표명피초초성연구채용쌍온모형구해온도장경위합괄,수치분석득도응변구유폭치교소차파형전관적결과.표면위이향응봉적형성시초성파재박막재료계면처발생반사인기적.
