真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2012年
3期
142-145
,共4页
关亚兰%崔秀清%刁训刚%王涛
關亞蘭%崔秀清%刁訓剛%王濤
관아란%최수청%조훈강%왕도
靶%层板%发汗冷却
靶%層闆%髮汗冷卻
파%층판%발한냉각
以北京天瑞星公司生产的大型TX1800商用磁控溅射镀膜机为例,分析了磁控溅射镀膜机靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却.在高温下气化蒸发带走基材热量,达到材料降温的目的.通过层板间的特殊结构实现对流体流量、流速等的控制,实现预想的冷却效果.
以北京天瑞星公司生產的大型TX1800商用磁控濺射鍍膜機為例,分析瞭磁控濺射鍍膜機靶的結構及配套冷卻繫統,引入航空航天領域應用較多的層闆髮汗冷卻.在高溫下氣化蒸髮帶走基材熱量,達到材料降溫的目的.通過層闆間的特殊結構實現對流體流量、流速等的控製,實現預想的冷卻效果.
이북경천서성공사생산적대형TX1800상용자공천사도막궤위례,분석료자공천사도막궤파적결구급배투냉각계통,인입항공항천영역응용교다적층판발한냉각.재고온하기화증발대주기재열량,체도재료강온적목적.통과층판간적특수결구실현대류체류량、류속등적공제,실현예상적냉각효과.
