核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2004年
2期
141-146
,共6页
非平衡磁控溅射系统%薄膜%等离子体
非平衡磁控濺射繫統%薄膜%等離子體
비평형자공천사계통%박막%등리자체
采用激励电流可以调整的电磁线圈来激发非平衡磁场,调整约束磁场和放电空间等离子体状态.实验结果表明调整非平衡磁场显著影响系统的放电特性,使放电特性偏离常规的磁控溅射系统放电特性,增强了等离子体的引出效果.在Ar放电的条件下,详细研究了溅射系统的工作伏安特性随不同的工作气体、气压和溅射功率的变化规律.根据蔡尔得公式,讨论了非平衡磁场对于磁控溅射系统中放电特性的影响规律.
採用激勵電流可以調整的電磁線圈來激髮非平衡磁場,調整約束磁場和放電空間等離子體狀態.實驗結果錶明調整非平衡磁場顯著影響繫統的放電特性,使放電特性偏離常規的磁控濺射繫統放電特性,增彊瞭等離子體的引齣效果.在Ar放電的條件下,詳細研究瞭濺射繫統的工作伏安特性隨不同的工作氣體、氣壓和濺射功率的變化規律.根據蔡爾得公式,討論瞭非平衡磁場對于磁控濺射繫統中放電特性的影響規律.
채용격려전류가이조정적전자선권래격발비평형자장,조정약속자장화방전공간등리자체상태.실험결과표명조정비평형자장현저영향계통적방전특성,사방전특성편리상규적자공천사계통방전특성,증강료등리자체적인출효과.재Ar방전적조건하,상세연구료천사계통적공작복안특성수불동적공작기체、기압화천사공솔적변화규률.근거채이득공식,토론료비평형자장대우자공천사계통중방전특성적영향규률.
