福建工程学院学报
福建工程學院學報
복건공정학원학보
JOURNAL OF FUJIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2007年
1期
39-41,49
,共4页
庄辉虎%周白杨%陈伟海%毛宏英
莊輝虎%週白楊%陳偉海%毛宏英
장휘호%주백양%진위해%모굉영
离子束溅射%Sm-Fe薄膜%磁伸性能%高真空热处理
離子束濺射%Sm-Fe薄膜%磁伸性能%高真空熱處理
리자속천사%Sm-Fe박막%자신성능%고진공열처리
采用IBS法在锡青铜衬底上溅射沉积Sm-Fe非晶态超磁致伸缩薄膜,研究衬底的表面状态和薄膜热处理对Sm-Fe薄膜磁致伸缩性能的影响.实验结果表明,锡青铜衬底状态对Sm-Fe超磁致伸缩薄膜磁伸性能有很大影响.样品经过200℃真空热处理后,100 mT内dλ/dH值从制备态Sm-Fe薄膜的0.71×10-3 T-1提高到2.48×10-3 T-1,薄膜低场磁敏性得到显著提高.
採用IBS法在錫青銅襯底上濺射沉積Sm-Fe非晶態超磁緻伸縮薄膜,研究襯底的錶麵狀態和薄膜熱處理對Sm-Fe薄膜磁緻伸縮性能的影響.實驗結果錶明,錫青銅襯底狀態對Sm-Fe超磁緻伸縮薄膜磁伸性能有很大影響.樣品經過200℃真空熱處理後,100 mT內dλ/dH值從製備態Sm-Fe薄膜的0.71×10-3 T-1提高到2.48×10-3 T-1,薄膜低場磁敏性得到顯著提高.
채용IBS법재석청동츤저상천사침적Sm-Fe비정태초자치신축박막,연구츤저적표면상태화박막열처리대Sm-Fe박막자치신축성능적영향.실험결과표명,석청동츤저상태대Sm-Fe초자치신축박막자신성능유흔대영향.양품경과200℃진공열처리후,100 mT내dλ/dH치종제비태Sm-Fe박막적0.71×10-3 T-1제고도2.48×10-3 T-1,박막저장자민성득도현저제고.
