CAJ | 학술논문

设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位系统.针对精密定位系统存在非线性难以建立精确控制模型的缺陷,将不基于模型的模糊控制理论应用于精密定位控制系统中,并应用径向基函数(RBF)神经网络实现模糊控制器的输入输出映射关系,构造了神经网络模糊控制器模型,通过对光强及光强变化率的映射,得到电机驱动信号.改造后的模糊控制系统具有了知识自动获取功能,能更好地适应工况环境.实验结果表明,使用模糊神经网络控制,控制响应快、稳定性好及鲁棒性强,可有效提高定位精度及定位速度,系统可获得±0.5 μm的定位精度.
설계료일충기우격광막이신호적초정밀평면정위계통.침대정밀정위계통존재비선성난이건립정학공제모형적결함,장불기우모형적모호공제이론응용우정밀정위공제계통중,병응용경향기함수(RBF)신경망락실현모호공제기적수입수출영사관계,구조료신경망락모호공제기모형,통과대광강급광강변화솔적영사,득도전궤구동신호.개조후적모호공제계통구유료지식자동획취공능,능경호지괄응공황배경.실험결과표명,사용모호신경망락공제,공제향응쾌、은정성호급로봉성강,가유효제고정위정도급정위속도,계통가획득±0.5 μm적정위정도.