中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2007年
11期
1557-1561
,共5页
余华%崔云%申雁鸣%齐红基%邵建达%范正修
餘華%崔雲%申雁鳴%齊紅基%邵建達%範正脩
여화%최운%신안명%제홍기%소건체%범정수
薄膜%LaF3单层膜%沉积速率%退火%折射率%激光损伤阈值
薄膜%LaF3單層膜%沉積速率%退火%摺射率%激光損傷閾值
박막%LaF3단층막%침적속솔%퇴화%절사솔%격광손상역치
用热舟蒸发方法在不同的沉积速率下制备了LaF3单层膜,并对部分单层膜进行了真空退火.分别采用X射线衍射(XRD),Lambda 900光谱仪和355 nm Nd:YAG脉冲激光测试了薄膜的晶体结构、透射光谱和激光损伤阈值(LIDT),并通过透射光谱计算得到样品的折射率和消光系数.实验结果表明,增大沉积速率有利于LaF3薄膜的结晶和择优生长,可以提高薄膜的致密性和折射率,但薄膜的抗激光损伤能力有所下降;沉积速率太大,又会恶化薄膜的结晶性能,同时薄膜中产生大量孔洞,薄膜的机械强度降低,导致薄膜的折射率减小和抗激光损伤能力降低.真空退火对薄膜的抗激光损伤能力有不同程度的提高.
用熱舟蒸髮方法在不同的沉積速率下製備瞭LaF3單層膜,併對部分單層膜進行瞭真空退火.分彆採用X射線衍射(XRD),Lambda 900光譜儀和355 nm Nd:YAG脈遲激光測試瞭薄膜的晶體結構、透射光譜和激光損傷閾值(LIDT),併通過透射光譜計算得到樣品的摺射率和消光繫數.實驗結果錶明,增大沉積速率有利于LaF3薄膜的結晶和擇優生長,可以提高薄膜的緻密性和摺射率,但薄膜的抗激光損傷能力有所下降;沉積速率太大,又會噁化薄膜的結晶性能,同時薄膜中產生大量孔洞,薄膜的機械彊度降低,導緻薄膜的摺射率減小和抗激光損傷能力降低.真空退火對薄膜的抗激光損傷能力有不同程度的提高.
용열주증발방법재불동적침적속솔하제비료LaF3단층막,병대부분단층막진행료진공퇴화.분별채용X사선연사(XRD),Lambda 900광보의화355 nm Nd:YAG맥충격광측시료박막적정체결구、투사광보화격광손상역치(LIDT),병통과투사광보계산득도양품적절사솔화소광계수.실험결과표명,증대침적속솔유리우LaF3박막적결정화택우생장,가이제고박막적치밀성화절사솔,단박막적항격광손상능력유소하강;침적속솔태대,우회악화박막적결정성능,동시박막중산생대량공동,박막적궤계강도강저,도치박막적절사솔감소화항격광손상능력강저.진공퇴화대박막적항격광손상능력유불동정도적제고.
